在无尘车间(洁净室)中,工作人员必须穿戴无尘服(又称洁净服、防尘服),这是为了最大限度减少人体对洁净环境的污染,确保生产环境的洁净度符合严格标准。以下是具体原因和科学依据:
自然产尘
人体每分钟脱落约1,000,000个皮屑(粒径0.3μm以上),活动时更会释放大量微粒。
呼吸、咳嗽可产生飞沫(粒径1~100μm),携带微生物或颗粒物。
携带污染物
衣物、头发、皮肤可能吸附外界灰尘、细菌等污染物,带入洁净区。
材质:采用聚酯纤维+导电丝编织,表面光滑、低发尘,能阻挡皮屑、毛发脱落。
设计:一体式连体服(Coverall)、帽子、口罩、手套、靴套全包裹,减少暴露面积。
无尘服含导电纤维(表面电阻10⁵~10⁹Ω),避免静电吸附灰尘或损坏精密设备(如半导体芯片)。
ISO 5级(百级)及以上:需穿全身无尘服+双层手套,部分区域需正压防护服。
ISO 8级(十万级):可简化(如分体式洁净服),但仍需全覆盖。
电子行业
防静电是关键,无尘服需通过ESD认证(如ANSI/ESD S20.20),避免静电击穿电路。
医药/生物实验室
无菌要求高,无尘服需灭菌(γ射线或环氧乙烷),并耐受消毒剂(如酒精)。
食品行业
防毛发脱落,部分区域需加穿防尘围裙。
更衣流程:
换鞋 → 洗手 → 穿无尘服(从上至下) → 戴手套/口罩 → 风淋室除尘(≥15秒)。
禁止行为:
在洁净室内脱帽、挠头、快速走动(会增加发尘量)。
测试项目 | 标准要求 |
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发尘率 | IEST-RP-CC003.4(≤0.3μm颗粒数/分钟·人) |
防静电性 | ANSI/ESD S20.20(表面电阻≤10¹¹Ω) |
微生物阻隔 | ISO 22610(抗细菌穿透) |
洁净度失控:人体污染物可能导致产品不良(如芯片短路、药品染菌)。
成本损失:返工或报废(如一片晶圆污染损失可达数万美元)。
无尘服是洁净室动态污染控制的核心措施,通过物理隔离和静电管理,确保环境参数(颗粒数、微生物)达标。不同行业需根据标准(如GMP、ISO 14644)选择对应等级的无尘服,并严格管理穿戴流程。